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HEX六自由度精密定位系统
（HEX高精密六自由度平台）
HexGen ®六足代表六度的自由度（DOF）的定位性能的下一代。HEX300-230HL是的中等负载，超精密六脚架，适用于从传感器测试到同步加速器样品处理的许多应用。
市场的性能
运动系统的设计和规格中存在许多折衷。HEX300-230HL以其高速和亚微米精度，消除了对应用规格的折衷。Aerotech的HexGen六脚架是当今市场上可提供低于5μm的定位精度规格的六脚架。
的结构设计
HEX300-230HL由六个支柱驱动，这些支柱由精密的预紧轴承，滚珠丝杠和驱动组件组成。与由直流有刷伺服电动机驱动的竞争性六足动物不同，HEX300-230HL由Aerotech的交流无刷无槽伺服电动机驱动，可程度地延长设备寿命和性能。与使用皮带，减速机或顺应性联轴器的竞争性设计相比，直接将AC无刷伺服电机与滚珠丝杠耦合可提高驱动刚度，提高定位精度并实现更好的小增量运动（XYZ中为20 nm，θxθyθz为0.2μrad）。特殊设计的支柱枢轴接头可提供低摩擦力和高刚度，从而增强了整体六脚架的性能。
设计灵活性
HEX300-230HL的设计为用户优化了灵活性和定制选项。平台和基座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松进行修改。HEX300-230HL在平台上有一个直径为100毫米的通孔，而在基座上有一个60毫米直径的通孔，可从底部进入工件。底座安装孔直接适应英制或公制光学平台。
HEX300-230HL
型号＃ | 线性行程 （X / Y / Z单位为毫米） | 旋转行程 （θx/θy/θz，°） | 线性分辨率 （X / Y / Z【nm】） | 旋转分辨率 （θx/θy/θz，arc sec） | 负载 （kg） |
HEX300-230HL | 55/60/25 | 15/15/30 | 20/20/20 | 0.04 / 0.04 /0.04 | 45 |
设计特点
六自由度定位，线性行程达到110 mm，角度行程达到40°
设计，定位精度规格
XYZ中小增量运动达到20 nm，θxθyθz中小增量运动为0.2μrad
灵活的配置和定制
可根据要求提供真空准备
强大的控件和软件，可视化的工作和工具坐标系
HexGen ®六足代表六度的自由度（DOF）的定位性能的下一代。HEX500-350HL是高负载，超精密六脚架，是X射线衍射，传感器测试和高力设备操作中的理想选择。
HEX500-350HL
型号＃ | 线性行程 （X / Y / Z单位为mm） | 旋转行程 （θx/θy/θz，°） | 线性分辨率 （X / Y / Z 【nm】） | 旋转分辨率 （θx/θy/θz，单位为arc sec） | 负载 （kg） |
HEX500-350HL | 100/110/54 | 22/22/40 | 20/20/20 | 0.04 / 0.04 / 0.04 | 200 |
运动系统的设计和规格中存在许多折衷。HEX500-350HL具有高负载能力，大行程，高速度和亚微米精度，因此不会迫使您在应用规格上做出妥协。
的结构设计
HEX500-350HL由六个支柱驱动，这些支柱由精密的预紧轴承，滚珠丝杠和驱动组件构成。与由直流有刷伺服电机驱动的六足动物不同，HEX500-350HL由交流无刷无槽伺服电机驱动，可程度地延长设备寿命和性能。与使用皮带，减速机或顺应性联轴器的竞争性设计相比，伺服电机直接与致动器滚珠丝杠耦合，从而提高了驱动刚度，提高了定位精度，并实现了更好的小增量运动（XYZ中为20 nm，θxθyθz为0.2μrad）。 。支杆枢轴接头经过精心设计，可提供低摩擦力和高刚度，从而增强了整体六脚架的性能。
设计灵活性
HEX500-350HL在设计时考虑了灵活性和定制性。平台和基座可以通过用户特定的功能或安装模式轻松进行修改。对于需要不同行程或特性能参数的应用，可以考虑该标准来定制设计的运动学和/或结构布局。
更多产品信息联系：于先生 （同）
